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      CIF掃描電鏡等離子清洗機

        CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。
      1. 詳細信息

      圖片5.jpg


      產品特點

      雙等離子清洗源

      一機多用

      高效低損傷

       

      技術參數

      產品型號

      CIF-SEM

      法蘭接口

      KF40CF40

      工作氣壓

      0.3-3Pa

      等離子電源

      13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調,


      遠程等離子源,自動匹配器

      氣體控制

      標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

      氣源選擇

      根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

      真空控制

      美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

      真空保證

      真空計和電磁閥安全互鎖

      操控方式

      7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

      電源/功率

      220V,50/60Hz,300W

      可選配件

      可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min 

      質量保證

      二年質保,終身維護


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